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半导体产业超纯水制备工艺

2026年10月12日 10:33:42来源:莱特莱德(上海)技术有限公司

超纯水指将水中的导电介质几乎去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。近年来,随着国家对环保的重视以及半导体行业的迫切发展,超纯水这个概念逐渐被公众所熟知。与普通净水器用于净化生活用水不同,超纯水一般用于科学研究、工业制造等高品质用水领域。超纯水在半导体、核电、燃煤发电、制药等行业有着极为重要的作用,特别是在半导体和核电领域的巨大应用潜力逐渐浮现。


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半导体产业对超纯水要求标准较高

在半导体生产中,超纯水被用于晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等许多场合,超纯水的品质与半导体的良品率直接相关。随着半导体元器件尺寸缩小与精细度上升,超纯水水质的技术要求不断提升,在超纯水的生产过程中,只要微粒子、电阻率、TOC以及气泡中一个指标出现略微差异,就会使半导体元器件生产的合格率下降。半导体超纯水水质的参考标准目前由几个国际组织和团体开发和颁布:国际半导体设备及材料协、国际半导体技术线路图、美国材料与试验协会。

超纯水制备工艺复杂、难度高

超纯水一般用于科学研究、工业制造等高品质用水领域。前者是通过PP棉、颗粒活性炭、精密压缩活性炭、反渗透膜/超滤膜、后置活性炭这五级滤芯的过滤,滤除细菌、病毒、重金属离子等有害物质,制得达到生饮标准的饮用水,属于分子级过滤。后者则是一般工艺很难达到的程度,需要将微滤技术、超滤技术、反渗透技术、EDI技术、离子交换技术中的两种及以上的技术,在各级滤芯、控制元件、增压泵、紫外灯等的共同作用下,制得符合实验要求的超纯水,属于离子级过滤,有些超纯水机还有软水器、微滤膜、UV紫外消解仪等可供选配。


关键词:超纯水设备
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