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工业超纯水设备是专用于生产超纯水的技术产品，它主要采用了双级反渗透系统+EDI模块的处理工艺，出水电阻率可达16 MΩ*cm(25℃)。反渗透系统中应用了热门的反渗透膜水处理技术，可以实现对纳米级物质的有效分离，能充分截留超纯水中需要被去除的有机物、细菌、金属离子、悬浮物等物质。这个处理过程无须化学反应助剂，可以在物理条件下稳定进行，具有分离效果好、无污染、无相变的技术优势。
EDI模块可以实现超纯水深度脱盐，能使系统实现带电荷运行，促使离子迁移速度加快，脱盐效果更加突出。该模块处理无污染物质产生，更不会产生酸碱废液，因此后续工艺中不需要再进行酸碱中和处理，有效减少了环境污染，同时提高了产水效率。EDI进水为二级反渗透产水，水质较好，脱盐后浓水水质仍旧能够优于一级反渗透产水，可回流至一级反渗透产水箱。
工业超纯水设备可以做到出水水质稳定、生产无污染、能耗低、运行连续稳定、自动化运行能力强，它采用了PLC智能化程序，能灵活进行操作，为超纯水需求企业提供了可靠的技术支持。
工业超纯水设备生产出的超纯水中基本只会含有氢原子和氧原子两种成分，是高纯度的非饮用水，可以广泛用于以下工业领域：
硅晶圆清洗：硅晶圆是半导体生产的重要材料，其清洁程度对产品质量的影响巨大，应用超纯水清洗硅晶圆能提高清洁度，保障产品质量、降低报废率；
细菌营养液配置：在生物实验中，细菌培养是一项常见的实验，采用超纯水配置细菌培养的营养液不会干扰细菌的繁殖，基本对实验结果无任何影响。
除了以上两大领域外，超纯水还有其他广泛的用途。因而，工业超纯水设备还有巨大的投资价值有待开发。
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